Verbundvorhaben. Teilvorhaben: Auswirkungen der Co-Diffusion aus mittels APCVD abgeschiedener Dotierschichten auf die Materialqualität von multkristallinem Silizium (MUSKAD)

Institutions
  • FB Physik
Funding sources
NameProject no.DescriptionPeriod
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie544/16no information
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Period: 01.05.2016 – 30.04.2019