Verbundvorhaben. Teilvorhaben: Auswirkungen der Co-Diffusion aus mittels APCVD abgeschiedener Dotierschichten auf die Materialqualität von multkristallinem Silizium (MUSKAD)

Institutions
  • FB Physik
Funding sources
Name Project no. Description Period
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie544/16no information
Further information
Period: 01.05.2016 – 30.04.2019