Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitenderCharakterisierung an statistich relevanten Stückzahlen - Teilvorh.: Referenzprozesse für Proizierung und Reorganisation Epi-POESIE

Institutions
  • FB Physik
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Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst Baden-Württemberg745/18no information
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Period: 01.10.2018 – 30.09.2020