Porozierung mit Randausschluss von runden 200 mm p-Typ Silicium Wafern für die Anwendung in der Mikroelektronik

Institutionen
  • Universität Konstanz
Mittelgeber
Name Kennziffer Beschreibung Laufzeit
Industrie881/19
Weitere Informationen
Laufzeit: 01.08.2019 – 31.12.2020