Porozierung mit Randausschluss von runden 200 mm p-Typ Silicium Wafern für die Anwendung in der Mikroelektronik
Teilnehmer
Institutionen
- Universität Konstanz
Mittelgeber
Name | Kennziffer | Beschreibung | Laufzeit |
---|---|---|---|
Industrie | 881/19 |
Weitere Informationen
Laufzeit: | 01.08.2019 – 31.12.2020 |