Verbundvorhaben. Teilvorhaben: Auswirkungen der Co-Diffusion aus mittels APCVD abgeschiedener Dotierschichten auf die Materialqualität von multkristallinem Silizium (MUSKAD)

Institutionen
  • FB Physik
Mittelgeber
NameKennzifferBeschreibungLaufzeit
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie544/16keine Angabe
Weitere Informationen
Laufzeit: 01.05.2016 – 30.04.2019