Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitenderCharakterisierung an statistich relevanten Stückzahlen - Teilvorh.: Referenzprozesse für Proizierung und Reorganisation Epi-POESIE

Institutionen
  • FB Physik
Mittelgeber
NameKennzifferBeschreibungLaufzeit
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst Baden-Württemberg745/18keine Angabe
Weitere Informationen
Laufzeit: 01.10.2018 – 30.09.2020