Porozierung mit Randausschluss von runden 200 mm p-Typ Silicium Wafern für die Anwendung in der Mikroelektronik

Institutionen
  • Universität Konstanz
Mittelgeber
NameKennzifferBeschreibungLaufzeit
Industrie881/19keine Angabe
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Laufzeit: 01.08.2019 – 31.12.2020