Verfahren zur nasschemischen Texturierung von einkristallinen Silizium-Wafern für Lotus-Ätzanlagen
Teilnehmer
Institutionen
- FB Physik
Mittelgeber
Name | Kennziffer | Beschreibung | Laufzeit |
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Industrie | 746/10 | 16.11.2010 – 31.03.2012 |
Weitere Informationen
Laufzeit: | 16.11.2010 – 31.03.2012 |