Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitenderCharakterisierung an statistich relevanten Stückzahlen - Teilvorh.: Referenzprozesse für Proizierung und Reorganisation Epi-POESIE
Teilnehmer
Institutionen
- FB Physik
Mittelgeber
Name | Kennziffer | Beschreibung | Laufzeit |
---|---|---|---|
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst Baden-Württemberg | 745/18 |
Weitere Informationen
Laufzeit: | 01.10.2018 – 30.09.2020 |