Charakterisierung von Barriereschichten und Entwicklung von Prozessen zur Metallisierung von n-Typ polySI KOBRA

Institutionen
  • Physik
Mittelgeber
Name Kennziffer Beschreibung Laufzeit
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie567/21
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Laufzeit: 01.06.2021 – 31.05.2024