Charakterisierung von Barriereschichten und Entwicklung von Prozessen zur Metallisierung von n-Typ polySI KOBRA
Teilnehmer
Institutionen
- Physik
Mittelgeber
Name | Kennziffer | Beschreibung | Laufzeit |
---|---|---|---|
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie | 567/21 |
Weitere Informationen
Laufzeit: | 01.06.2021 – 31.05.2024 |