PEPSI P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Gettern mittel porösen Siliziums zur Verbesserung der Ladungsträgerlebensdauer von p-Typ epitaktischen Siliziumwafern

Institutionen
  • FB Physik
Mittelgeber
Name Kennziffer Beschreibung Laufzeit
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst Baden-Württemberg764/20
Weitere Informationen
Laufzeit: 01.01.2021 – 31.12.2022