Verfahren zur nasschemischen Texturierung von einkristallinen Silizium-Wafern für Lotus-Ätzanlagen

Institutions
  • FB Physik
Funding sources
Name Project no. Description Period
Industrie746/1016.11.2010 – 31.03.2012
Further information
Period: 16.11.2010 – 31.03.2012