Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitenderCharakterisierung an statistich relevanten Stückzahlen - Teilvorh.: Referenzprozesse für Proizierung und Reorganisation Epi-POESIE
Participants
Institutions
- FB Physik
Funding sources
Name | Project no. | Description | Period |
---|---|---|---|
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst Baden-Württemberg | 745/18 |
Further information
Period: | 01.10.2018 – 30.09.2020 |