Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitenderCharakterisierung an statistich relevanten Stückzahlen - Teilvorh.: Referenzprozesse für Proizierung und Reorganisation Epi-POESIE

Institutions
  • FB Physik
Funding sources
Name Project no. Description Period
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst Baden-Württemberg745/18
Further information
Period: 01.10.2018 – 30.09.2020