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Porozierung mit Randausschluss von runden 200 mm p-Typ Silicium Wafern für die Anwendung in der Mikroelektronik

Participants

Terheiden, Barbara - Project head

Institutions

Universität Konstanz

Funding sources

Name	Project no.	Description	Period
Industrie	881/19

Further information

Period:

01.08.2019 – 31.12.2020

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Title

Participant (last name)

Institution

Mathematisch-Naturwissenschaftliche Sektion
- FB Mathematik und Statistik
  - Mathematik und Statistik
    - AG Racke (Part. Differentialgleichungen)
    - AG Junk (Numerik / wiss. Rechnen)
    - AG Scheiderer (Geometrie)
    - AG Schweighofer (Algebra)
    - AG Denk (Part. Diff.gleichungen / Anw. i. Finanzökonomie)
    - AG Kuhlmann (Algebra, insb. algorithm. Aspekte)
    - AG Beran (Statistik)
    - AG Schnürer (Differentialgeometrie)
    - JP Dreher ( Mathem.Physik )
    - AG Kupper (Statistik/Wahrscheinlichkeitstheorie)
    - AG Volkwein (Numerik/Optimierung)
    - JP Fehm (Geometrie, insb. Algorith.Aspekte)
    - AG Freistühler (Analysis und Numerik)
    - AG Grigoryeva (Computional Statistics and Econometrics)
    - AG Bianchi (Statistik / Wahrscheinlichkeitstheorie)
    - AG Ciaramella (Numerische Optimalsteuerung)
    - AG Baur ( Algebra / Zahlentheorie )
    - GB Prestel ( Algebra / Zahlentheorie )
    - GB Prestel ( Algebra / Zahlentheorie )
    - AG NN (Geometrie)
- FB Informatik und Informationswissenschaft
  - Informatik und Informationswiss.
    - AG Brandes (Algorithmik)
    - AG Berthold (Bioinformatics and Information Mining)
    - AG Deussen (Visual Computing)
    - AG Scholl (Database and Information Systems)
    - AG Keim (Data Analysis and Visualization)
    - AG Reiterer (Human-Computer Interaction)
    - AG Saupe (Multimedia Signalverarbeitung)
    - AG Leue (Software and Systems Engineering)
    - AG Waldvogel (Distributed Systems)
    - AG Goldlücke (Image Analysis and Computer Vision)
    - JP Gipp (Informationswissenschaft)
    - AG Schreiber (Computational Life Sciences)
    - AG Grossniklaus (Database and Information Systems)
    - LS Praktische Informatik (Saupe)
    - LS Informationsverarbeitung
    - JP Schreck (Visual Analytics)
    - JP Rendle (Social Network Analysis)
    - LS Angewandte Informatik
    - JP Merhof (Visual Computing)
    - LS Medieninformatik
    - GB Kuhlen (Informationswissenschaft)
    - LS Praktische Informatik
    - AG Feuchtner (Mensch-Computer-Interaktion)
- FB Physik
  - Physik
    - AG Burkard (Theoretische Physik mit SP Festkörperphysik und Quanteninformation)
    - AG Schmidt-Mende (Experimentalphysik mit SP Energie und Nanostrukturen)
    - AG Scheer (Experimentalphysik mit SP Nanoelektronik)
    - JP Pauly (Theoretische Physik mit SP Molekulare Elektronik)
    - AG Nowak (Theoretische Physik mit SP Moderne Materialeigenschaften)
    - AG Nielaba (Theoretische Physik mit SP Statistische Physik)
    - AG Maret (Experimentalphysik mit SP Weiche kondensierte Materie)
    - AG Leitenstorfer (Experimentalphysik mit SP Ultrakurzzeitphysik und Quantenoptik)
    - AG Hahn, apl. (Photovoltaik)
    - AG Ganteför (Experimentalphysik mit SP Nanomaterialien)
    - AG Fuchs (Theoretische Physik mit SP Weiche kondensierte Materie)
    - AG NN (Festkörperchemie)
    - AG Belzig (Theoretische Physik mit SP Quantentransport)
    - AG Weig (Experimentalphysik mit SP Nanomechanik)
    - AG Rüdiger (Experimentalphysik mit SP Moderne Materialwissenschaften)
    - AG Bechinger (Experimentalphysik mit SP Weiche kondensierte Materie)
    - GB Dieterich ( Theoretische Physik )
    - AG Schatz ( Experimentalphysik )
    - AG Audretsch ( Theoretische Physik )
    - AG Dekorsy (Experimentalphysik)
    - AG Boneberg (Nano-Optik)
- FB Chemie
  - Chemie
    - JP Lorbach (Anorgan. Chemie)
    - JP Kovermann (Magn. Resonanzspektrosk.)
    - AG Wittmann (Bioorg. Chemie)
    - AG Drescher (Analytische Chemie)
    - AG Polarz (Festkörperchemie)
    - AG Wittemann (Kolloidchemie)
    - AG Hartig (Biopolymerchemie)
    - AG Cölfen (Physikalische Chemie)
    - AG Gaich (Organ. Chem. Schwpkt. Naturstoffe)
    - AG Zumbusch (Spektroskopie und Kinetik)
    - AG Mecking ( Chem.Materialwiss.)
    - AG Müller( Anorg. Chem. der Hauptgruppenelemente)
    - GB Daltrozzo ( Physikal. Chem. Spektroskopie.u.Kinetik)
    - Ag Przybylski ( Analytische Chemie )
    - AG Winter (Anorg. Chem.Metallorg. U. Katalyse)
    - JP Möller (Magn. Resonanzspektrosk.)
    - GB Groth (Organ. Chem. Naturstoffe,Aromaten...)
    - AG Peter (Theoretische Chemie)
    - GB Jeschke (Struktur u. Dynamik der Materie)
    - AG Marx (Zelluläre Chemie)
    - GB Fischer (Anorg. Chem.Metallorg. U. Katalyse)
    - AG Hauser Biophys.Chemie (AusbauPr HS 2012)
    - JP Exner (theoret. chem. Dynamik)
  - Life Science
- FB Biologie
  - Limnologisches Institut
  - Biologie
    - AG Rothhaupt (Limnologie)
    - GB Wendel ( Biochem. Pharmakologie )
    - AG Bürkle (Molekulare Toxikologie)
    - JP Frickey (Applied Bioinformatics)
    - AG Peeters (Umweltphysik)
    - JP Küpper ( Pflanzenphysiologie )
    - AG Galizia (Zoologie,Neurobiologie)
    - AG Diederichs (Molek.Bioinformatik)
    - AG van Kleunen (Ökologie)
    - AG Spiteller (Chem.Ökologie)
    - AG Hauck (Zellbiologie, Ultrastrukturforschung)
    - AG Kroneck
    - AG Dietrich (Ökotoxikologie)
    - AG Leist (In vitro Methoden)
    - AG Groettrup (Immunologie )
    - AG Th. Mayer (Molekulare Genetik)
    - AG Brunner (Biochem. Pharmakologie)
    - AG Eckmann (Limnologie)
    - AG Scheffner (Biochemie)
    - JP Stengel (Zelluläre Proteostase und Massenspektrometrie)
    - AG Kroth (Pfl. Ökophysiologie)
    - AG A. Meyer (Zoologie/Evolutionsbiologie)
    - AG Couzin (Biodiversität und Kollektivverhalten)
    - AG Küpper
    - AG Mayans (Biophysik und Strukturbiologie)
    - AG Schink (Limnologie/Mikrobielle Ökologie)
    - JP Öhlschläger (Immunologie)
    - GB Wikelski (Ornithologie)
    - AG Deuerling ( Molek. Mikrobiol.)
    - AG Isono (Physiologie u. Biochemie der Pflanzen)
    - AG Legler, apl. (Immunologie und Zellbiologie)
    - Dörken, Akademischer Rat (Evolution und Biodiversität der Pflanzen)
    - AG Behrmann-Godel (Genetische Adaptation in aquatischen Systemen)
    - AG May (Bioimaging Center)
    - AG Wikelski, Honorarprof. (Physiologische Ökologie und Tierbewegungen)
    - Meergans, Akademischer Oberrat (Chemie und Biochemie für Biologen)
    - Laumann, Akademischer Rat (Elektronenmikroskopie)
    - Schmitz, Akademischer Rat (Botanischer Garten/Tierlehrsammlung)
- FB Psychologie
  - Psychologie
    - AG Elbert (Klinische Psychologie & Neuropsychologie)
    - AG Endrass, apl. (Forensische Psychologie)
    - AG Gaißmaier (Sozialpsychologie & Entscheidungsforschung)
    - JP Hoffmann (Information Processing & Economic Decision Making)
    - AG Hübner (Kognitive Psychologie)
    - AG Reips (Psychologische Methoden & Diagnostik)
    - AG Renner (Psychologische Diagnostik & Gesundheitspsychologie)
    - AG Rockstroh (Klinische Psychologie)
    - AG Schupp (Allgemeine & Biologische Psychologie)
    - AG Wirtz (Psychologie der Arbeit & Gesundheit)
    - AG Bondü (Entwicklungspsychologie)
    - AG Kempf (Methodenlehre & Friedensforschung)
    - AG Pruessner (Klinische Neuropsychologie)
    - AG Trommsdorff (Entwicklungspsychologie & Kulturvergleich)
    - Kliniken Schmieder
    - ZfP Reichenau
    - GB Gollwitzer ( Sozialpsychologie )
    - JP Neuner (Klin.Psych. u. Psychotherapie
    - JP Kißler (Klinische Psych.wiss.Hintergrund)
    - JP Mohr (Information Processing and. Economic Decision Making)
    - JP McCrea (Motivations-u.Willenspsychologie)
Geisteswissenschaftliche Sektion
- FB Philosophie
  - Philosophie
    - AG NN (Theoretische Philosophie)
    - AG Rosenthal (Praktische Philosophie)
    - AG Müller (Philosophie unter Berücksicht.theor.Phil.)
    - AG Stemmer (Praktische Philosophie + Hermeneutik)
    - AG Spohn (Philosophie + Wiss.Th.)
    - AG Weber ( Philosophie unter Berücksicht. der theoret.Philosophie)
    - GB Mittelstraß (ausg.) ( Philo. u. Wissenschaftst.)
    - AG Wolters(Philosophie unter Berücksicht.theor.Phil.)
    - GB Emundts (Phil.+Wiss.Theorie insb. Sprachphilosophie)
    - GB Seebaß ( Philosopie u. Theorie der Sozwiss.)
    - GB Rosefeldt (Phil.+Wiss.Theorie insb. Sprachphilosophie)
    - GB Halbig (Phil+Wiss.Th. Insbes prakt. Phil u. Th. d. Sozwiss.)
- FB Geschichte u. Soziologie m. Sportw. u. Emp. Bild.f.
  - Geschichte
    - AG Wischermann (Wirtschaftsgeschichte)
    - JP Kleeberg (Gesch.)
    - HD Diefenbach (Politische Kulturen der Antike)
    - GB Patschovsky (Mittelalterl.Geschichte)
    - AG Reichardt (Zeitgeschichte)
    - AG N.N. (Osteuropäische Geschichte)
    - AG Gotter (Alte Geschichte)
    - AG Hauser (Archäologie der altmediterranen Kulturen und ihrer Beziehungen zur altvorderasiatisch-ägyptischen Welt)
    - GB Schuller (Alte Geschichte)
    - AG Signori (Mittelalterliche Geschichte)
    - AG Schlögl (Neuere Geschichte mit Schwerpunkt Frühe Neuzeit)
    - JP Rischbieter (Wirtschaftsgeschichte)
    - AG N.N. (Neuere Geschichte mit Schwerpunkt Wissensgeschichte der Geistes- und Sozialwissenschaften)
    - AG Osterhammel (Neuere und Neueste Geschichte mit Schwerpunkt 19./20. Jh.)
    - AG N.N. (Geschichte der Religionen und des Religiösen in Europa)
  - Soziologie
    - AG Kirsch (Ethnologie und Kulturanthropologie)
    - JD Buis (Sozialwissenschaftliche Statistik)
    - JP Beyer (Ethnologie mit Schwerpunkt Politische Anthropologie)
    - AG Strauß (Soziologie mit Schwerpunkt Gender Studies)
    - AG Georg (Empirische Sozialforschung, insbesondere Hochschulforschung)
    - AG Hinz (Empirische Sozialforschung mit Schwerpunkt Demoskopie)
    - AG Diehl (Allgemeine Soziologie mit Schwerpunkt Mikrosoziologie)
    - AG Meyer (Allgemeine Soziologie mit Schwerpunkt Kultursoziologie)
    - GB Knorr Cetina (Soziol. Theorien,Kulturvgl.)
    - GB Reckwitz (Allg.Soziologie Schwpt.Kultursoziologie)
    - AG Holzer (Allgemeine Soziologie mit Schwerpunkt Makrosoziologie)
    - GB Soeffner(Kommunikation, Medien Interaktion)
    - GB Giesen ( Allg.Soz.Institionen Organisat. )
  - FG Sportwissenschaft
    - AG Gruber (Sportwissenschaft)
    - JP Wagner (Sportwissenschaft mit dem Schwerpunkt Motorische Entwicklung und Förderung im Kindesalter)
    - GB Riehle( Sportmedizin, Biomechanik)
    - AG Woll, ( Sportw. Sportpädagogik)
    - AG Miethling ( Sportw. Sportpädagogik)
    - AG Schüler (Sportwissenschaft)
    - AG Kanning (Sportwissenschaft, insbesondere Sportpädagogik)
  - Empirische Bildungsforschung
    - AG Perren (Empirische Bildungsforschung mit dem Schwerpunkt Frühe Kindheit)
    - JP Bieg (Empirische Bildungsforschung)
    - AG Götz (Empirische Bildungsforschung)
    - JP Hachfeld (Unterrichtsforschung mit Schwerpunkt Heterogenität)
    - JP Martiny (empirisch.Bildungsforschung)
    - JP Bertram (Fachdidaktik in den Sozialwissenschaften (Geschichtsdidaktik/Politikdidaktik/Wirtschaftsdidaktik))
- FB Literaturwiss. mit Kunst- u. Medienwiss.
  - Anglistik / Amerikanistik
    - GB Nischik ( Amerikanistik)
    - AG Mergenthal (Engl.Literatur)
    - AG Schäfer (Nordamerikanische Literatur u. Kultur)
    - AG Wald (Engl. Literatur u. Allgem. Literaturwiss.)
  - Germanistik
    - AG Baisch ( Deutsche Literatur/Mittelalter)
    - AG Quast (Dtsch.Lit.Schpkt.Mittelalter)
    - AG Koschorke (dtsch.Literatur u.allg.Litwiss.)
    - AG Schnyder ( Deutsche Literatur/Mittelalter)
    - AG Vogel (Neuere dtsch.Lit.u.Schw.Lit.des 20.Jdh)
    - AG Reuvekamp-Felber (Dtsch.Lit.Schpkt.Mittelalter)
    - AG Stiegler (Neuere dtsch. Lit. Schwpt. 20.Jhd. medialer Kontext)
    - AG Todorow (Neuere dtsch.Literatur....)
    - AG Schulz ( Deutsche Literatur/Mittelalter)
    - JP Weitin ( Neuere dtsch.Literatur im europ. Kontext)
    - GB von Graevenitz( Neuere dtsch.Lit. AllgemLit.W...)
    - GB Gaier (Dtsch.Literatur u. Allg.Lit.W.Frühe Neuzeit b..)
    - JP Detering (neuere dt. Literatur im europ. Kontext)
  - Kunst- und Medienwissenschaften
    - JP Stöhr (Kunstwissenschaft)
    - AG Leonhard (Kunstwissenschaft/Kunstgeschichte)
    - AG Paech (Medienwissenschaft)
    - JP Bogen (Kunstwissenschaft)
    - AG Otto (Medienwiss. m. Schwp. mediale Teilhabe in digit. Kulturen)
    - GB von Keitz (Medienwissenschaft)
    - JP Kümmel-Schnur (Digitale Medien, Digitale Kunst)
    - AG Mahlke (NF Matala de Mazza)
    - AG Ochsner (Medienwissenschaften)
  - Klassische Philologien
    - AG Feichtinger (Latinistik)
    - GB Baudy (Gräzistik)
  - Romanistik
    - AG Kuhn (Rom. Litw. Schwpkt. Ital.,mittelalt.)
    - AG Schwarze (Rom.Literaturen Schwpt.italienische Lit)
    - GB Stierle(Roman.Lit.Allgem.Lit.W)
    - AG Sprenger (Roman.Literatur u.Allg.LitW.)
    - AG Joan i Tous (Roman.Lit,spanischspr.Lit.)
    - JP Kraume (Roman. Lit./Schw.pkt. iberoam. Lit.)
    - AG Mahlke (NF Matala de Mazza)
  - Slavistik
    - AG Murasov ( Slav. Lit. U.Allg. Lit.)
  - Allgemeine Literaturwissenschaft
- FB LInguistik
  - Anglistische Sprachwissenschaft
    - AG Grijzenhout (Angl. Sprachwiss.)
    - GB Couper-Kuhlen( Anglistische SprW)
    - AG Romero (Allgemeine Sprachwissenschaft mit Schwerpunkt Semantik)
    - AG Plank(Anglist.SprW u. Allgem.SprW)
    - AG Walkden (Anglistische Sprachwissenschaft und Allgemeine Sprachwissenschaft)
  - Germanistische Sprachwissenschaft
    - AG Eckardt (Allgemeine u. germanistiche SprW)
    - GB Bayer (Germanistische Sprachw.)
    - AG Zinn (Allgemeine Sprachwissenschaft mit Schwerpunkt Phonetik)
    - AG Eulitz (allg. Sprachw. M.Schwpt. Neurolinguistik)
    - AG Butt (Allg.Sprachwiss., Computerlinguistik)
  - Romanistische Sprachwissenschaft
    - AG Kaiser (Romanistische Sprachwissenschaft)
    - GB Schwarze (Romanistische SprW)
    - AG Kupisch (Romanist. Sprw.)
    - JP Biezma (Allg. Sprachwissenschaft)
  - Slavistische Sprachwissenschaft
    - GB Breu (Slavistische SprW)
    - AG N.N. (Slavistische Sprachwissenschaft)
  - Allgemeine Sprachwissenschaft
    - AG Dehé (NF Lahiri)
    - GB Lahiri (Allg. SprW. Phonologie)
    - AG N.N. (Allgemeine Sprachwissenschaft mit Schwerpunkt Mehrsprachigkeit)
Politik-Recht-Wirtschaft Sektion
- FB Rechtswissenschaft
  - Rechtswissenschaft
    - GB Franzen(Bürgerl.R Schwpkt.ArbeitsR)
    - AG Hilgendorf ( StrafR mit Nebengebieten )
    - AG Armgardt (Bürgerliches Recht und Rechtsgeschichte)
    - GB Fuchs ( Dtsch,Europ,u.Intern.WirtR m.BR)
    - GB Lenski (Öff.R. mit Schwerp. Verwatlungsr.)
    - GB Koch (NF Ebke)
    - AG Popp (Strafr.m. Nebengeb. insb. Comp.-u. Medienstrafrecht)
    - AG Röhl (Öffentliches Recht mit Schwerpkt. Staatsrecht)
    - AG Breuer (Öff.R. mit internat.Ausrichtung)
    - GB Heinz ( StrafR mit Nebengebieten )
    - GB Löhnig (Bürgerliches Recht und Rechtsgeschichte)
    - AG Fehrenbacher (Bürgerliches Recht mit Personen- und Unternehmenssteuerrecht)
    - AG Eisele (Strafrecht mit Nebengebieten)
    - GB Althammer ( Bürgerl.R Schwpkt.InternPrivR)
    - AG Thym (Öffentl. Recht mit Europa- und Völkerrecht)
    - GB Ebke (Europ. U. internat. WirtschaftsR )
    - GB Geis (Öff.Recht Schwpkt.StaatsR)
    - AG Wilms ( Öff.R mit Nebengebieten )
    - AG Theile (Strafrecht mit Nebengebieten)
    - AG Boecken (Bürgerliches Recht mit Schwerpkt. Sozialrecht)
    - AG Wilhelmi (Bürgerliches Recht mit Schwerpkt. Wirtschaftsrecht)
    - AG Stadler (Bürgerliches Recht mit Schwerpkt. Prozessrecht)
    - GB Fezer ( Handels+Wirtsch.R)
    - AG Rengier (StrafR mit Nebengebieten)
    - AG Glöckner (Deutsches, Europäisches und Internationales Wirtschaftsrecht mit Bürgerlichem Recht)
    - GB Lorenz (Rechtschutz, Umwelt R.)
    - GB Strätz ( Familien- u. Erbrecht)
    - AG Stürner (Bürgerl. Recht mit Schwerpkt. Internationales Privatrecht und Rechtsvergleichung)
    - AG Schönberger, Christoph (Öffentliches Recht mit Nebengebieten)
    - AG Ibler (Öffentliches Recht mit Schwerpkt. Verwaltungsrecht)
    - AG Höpfner (Bürgerliches Recht, Arbeitsrecht und Unternehmensrecht)
    - AG Schönberger, Sophie (Öffentliches Recht mit Schwerpkt. Verwaltungsrecht)
- FB Wirtschaftswissenschaften
  - Wirtschaftswissenschaften
    - GB Englmaier (BWL insb.UnternehmensR)
    - JP Südekum (Wirtschaftspolitik )
    - GB Franke (BWL int.Finanzmanagement)
    - AG Pohlmeier (VWL Ökonometrie)
    - JP Fehrler (Behavioral Economics)
    - AG Seifried (NF Kremer)
    - GB Heiler ( Statistik )
    - AG Schöttner (Betriebswirtschaftslehre insbes. Unternehmenspolit.)
    - AG Hahn (Int.and monetary macroeconomics)
    - JP Scholl (Internat.Economics)
    - AG Breyer (VWL Wirtsch-u.Sozialpolitik)
    - AG Stefani (BWL, insbes.Unternehmensrechnung)
    - JP Grieben (Volkswirtsch.lehre)
    - GB Glaser (Bwl, insb.Corporate Finance)
    - AG Sander (Allgemeine Betriebswirtschaftslehre, Schwerpunkt Marketing)
    - JP Nawid Siassi (Dynamic Programming/Dynamic Choice)
    - AG Kind (BWL, insb.Corporate Finance)
    - GB Alos-Ferrer (Vwl,insb.Mikroökonom.Theorie)
    - GB Genser (VWL Finanzwissenschaft)
    - JP Bruttel (Behavioral Economics)
    - JP Eisenkopf (Pers.Ökonomik/Pers.Wirt.)
    - JP Friehe (Wirtschaftspol.)
    - AG Brüggemann (Statistik und Ökonometrie)
    - AG Goldlücke (Vwl,insb.Mikroökonom.Theorie)
    - AG Ursprung (VWL, insb. Außenwirtschaftstheorie und Ökonomische Theorie der Politik)
    - AG Fischbacher (angew. WirtschF)
    - AG Fischer (Finanzwirtschaft)
    - JP Gevrek (Bildungs-/Arbeitsökonomik)
    - AG Jackwerth (BWL, Innovat. Finanzdienstleist.)
    - JP Kocharkov (Volkswirtsch.lehre)
    - JP Dr. Luna Bellani (Wirtschaftspol.)
    - GB Fabel (BWL Unternehmenspolitik)
    - AG Kaas (Wirtschaftstheorie Arbeitsökonomie)
    - JP Hertweck (Makroökonomische Theorie)
    - GB Schweinberger( VWL Int.Wirtschaftsbez.)
    - AG Hochholdinger (Betriebspädagogik)
    - GB Ramser (VWL Wirtschaftstheorie)
    - AG Schwerdt (Public Economics)
    - AG Schumann (Wirtschaftspädagogik)
    - JP Hessami (Polit. Ökonomie)
    - AG Kremer ( Wirtschaftspädagogik)
    - AG Scholl (VWL insbes. Internat. Ökonomie)
    - GB Sturm (monet. Ökonomik)
    - JP Lukas (Betriebsw.lehre)
    - AG Deißinger (Wirtschaftspädagogik)
    - JP Bleibtreu (Betriebsw.lehre)
    - AG Zubanov (Betriebswirtschaftslehre insbes. Unternehmenspolit.)
- FB Politik- und Verwaltungswissenschaft
  - Politikwissenschaft
    - AG König ( intern. Politik )
    - AG Freitag (Vergleichende Politik)
    - AG Selb (Umfrageforschung)
    - AG Boerner (Managem. Insbes.Strat.u.Führung)
    - AG Weidmann (Vgl.Politikwiss. nicht-demo.Staaten)
    - JP Becher (Political Economy)
    - AG Kunze (Organizational Studies)
    - JP Koos (Management, insbesondere gesellschaftliche Verantwortung)
    - AG Behnke (Verwaltungswissenschaft)
    - AG Holzinger (intern.Politik, Konfliktforschung)
    - AG Busemeyer (PolW. Insb. Policy-Analyse und politische Theorie)
    - AG Shikano (Methoden der empirischen Politik- und Verwaltungsforschung)
    - AG Leuffen (PolW. Schwpt. Int. Politik)
    - JP Klüver (Policy-Analyse u. Verwaltungswiss.)
    - AG Breunig (Vergleichende Politikwiss.)
    - AG Seibel (Innenpolitik u.öff. Verwaltung)
    - AG Immergut ( Politische Theorie )
    - GB Alber ( Sozialpolitik )
    - AG Manow (Vwwiss. Schwp. Reform öff. Sektor)
    - AG Mergel (Public Administration)
    - AG Vatter
    - AG G. Schneider (Intern. Politik)
    - AG V. Schneider (Materielle Staatstheorie)
    - JP Zuber (Innenpolitik u.öff. Verwaltung)
    - JP Donnay (Computational Social Science)
    - JP Jungherr (Social Science Data Collection and Analysis)
    - AG Jochem (Empirische und normative Deomkratietheorien)
    - UKN Herrmann (Wahlen und Demokratie)
  - Verwaltungswissenschaft
Forschungseinrichtungen
- Forschergruppen
- Graduiertenschule Chemical Biology
- Zukunftskolleg
  - GK Das Problem des Realen in der Kultur der Moderne
- Exzellenzcluster "Kulturelle Grundlagen von Integration"
- Kulturwissenschaftliches Kolleg
- Graduiertenschule Decision Sciences
sonst. Einrichtungen
- Binational school
- IBH

Porozierung mit Randausschluss von runden 200 mm p-Typ Silicium Wafern für die Anwendung in der Mikroelektronik

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