Detaillierte Analyse der porösen Siliziumschichten zur Erzeugung einer idealen Saatschicht für die Epitaxie DETEKTIV
Participants
Institutions
- Physik
Funding sources
Name | Project no. | Description | Period |
---|---|---|---|
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie | 552/21 |
Further information
Period: | 01.05.2021 – 30.04.2023 |