Verfahren zur nasschemischen Texturierung von einkristallinen Silizium-Wafern für Lotus-Ätzanlagen
Participants
Institutions
- FB Physik
Funding sources
| Name | Project no. | Description | Period |
|---|---|---|---|
| Industrie | 746/10 | 16.11.2010 – 31.03.2012 |
Further information
| Period: | 16.11.2010 – 31.03.2012 |